加热电极：加热电极由上电极、下电极和上下电极引出杆组成。上下电极均设有夹紧机构。电极内部均有水冷通道，使电极不致于过热而烧坏。升降机构：升降机构由减速箱、电动机和升降丝杠等零部件组成。该机构结构紧凑，传动平稳，升降动作可靠，上罩复位重复性好。

 

真空系统：本设备的真空系统主泵是高真空油扩散泵。前级泵是旋片式机械真空泵。主阀是气动挡板阀，上管道阀和下管道阀均为气动翻板阀。在主泵与主阀之间还加装了水冷挡板，可以有效地阻止油分子逆流进入炉体山东锅炉，避免炉体内部污染而影响熔炼质量。本系统具有结构紧凑、布局合理、抽速快和真空度高等优点。51电控系统：电控系统由两个控制柜组成：第一个控制柜主要控制机械泵、扩散泵、三相电流指示、一套复合真空计、抽沙管主阀、上管道阀、下管道阀、放气阀等。第二个柜主要由加热应用于稀有及难熔金属的真空高温炉研制升温控制系统、钟罩升降控制以及报警控制等组成。系统设有三种故障声光报警及连锁：

 

（1）水压报警并断开、加热电源和升温控制，关闭主阀，停止扩散泵；

 

（2）真空报警；

 

（3）加热升温控制系统故障报警并断开，升温控制0.3高真空钽片炉

 

现在在真空热处理行业中，生产上所使用的超高温炉有石墨加热炉及感应加热炉。这两种炉子使用面窄，如受到工件的材料特性、工件形状及热处理时工件周围气氛的要求等很多因素限制。我们成功地研制出一种新型高真空钽片炉。实践证明：该炉能够满足在各种温度下工件的热处理要求。又因为是金属屏作保温材料，故炉体内部吸附气体少，加热时不会产生有害气体，且极限真空度高、抽速快。该炉扩展真空炉在热处理方面的使用范围，是一种比较理想的真空热处理设备。在钽电容器的生产过程中，真空烧结阳极块是主要工艺之一。

 

烧结阳极块是在高真空高温条件下进行的。烧结的作用有两个：一是纯化压块；二是增加压块强度并使之成为具有合适的孔隙的多孔体。如果炉温不均匀，控温不稳定，工作真空度偏低及系统中有油污染等，均会影响产品质量。为了满足我国钽电容器制造业的需要，结合钽烧结的生产实践，我们研制了新型高真空钽片炉，测试表明：该设备具有炉温均匀稳定且闭环控制，真空系统性能好，炉体热效率高等特点。由于采用了分子泵系统，半无油高真空钽片炉真空度高，可获得准无油清洁真空，避免了油分子对产品的污染，有利于产品的脱氢，大大提高了被处理物料的纯度。分子泵起动快，抽速平稳，节省时间和能源。它是钽、铌和稀土材料脱氢、蒸馏以及钽电容器烧结的理想高真空高温炉。